CVD腐蝕清洗臺:，品牌：《南北電子》該設(shè)備適用于薄晶圓（到80 µm）以及符合 SEMI單晶圓濕法工藝標準的晶圓。采用標準的濕法工藝對硅晶圓片進行清潔、去膠、刻蝕和光刻。全電腦自動控制方式,保護脆弱的薄晶圓在工藝流程中不受損毀。