系列簡介及說明
在諸多高純凈氣體的應用場合,如半導體行業,為了滿足工業過程的要求,氣體中殘留的微量水分是極為關鍵的參數.實踐操作中測量水分含量是非常困難的,因為期間需要使用復雜的濕度分析儀或昂貴分析技術.現在,密析爾給市場帶來了簡便,經濟而且高效率的露點在線測量的解決方案,*低露點溫度可測達-120℃(相當于<1ppb).Pura 變送器匯集了密析爾生產和校驗阻抗露點變送器方面的經驗和專業知識,并結合了工業標準選材和制造工藝,使之成為**款適用于大規模集成半導體制造工廠及高純凈氣體行業中的**位變送器
系列用途
在線檢測半導體工業高純氣的濕度
產品特點
安裝簡便
高度的穩定性和重復性
測量范圍達-120℃露點(<1ppbV)
100級潔凈室凈化包裝
技術參數
測量范圍: -120…40℃露點
精 度: ±1℃露點
工作壓力: 30Mpa
工作溫度: -20…+50℃
氣室材料: 冷拉不銹鋼,內部0.1…0.2微米電拋光
防護等級: IP65
氣路接口: 1/4 ’’VCR
流量等級: 建議位1…5NL/Min
工作電源: 12…28VDC
輸出信號: 4…20 mA (RS485可選)
溯源性: NPL(英國)和NIST(美國)
質量保證期: 12個月