系列簡介及說明
在諸多高純凈氣體的應(yīng)用場合,如半導(dǎo)體行業(yè),為了滿足工業(yè)過程的要求,氣體中殘留的微量水分是極為關(guān)鍵的參數(shù).實踐操作中測量水分含量是非常困難的,因為期間需要使用復(fù)雜的濕度分析儀或昂貴分析技術(shù).現(xiàn)在,密析爾給市場帶來了簡便,經(jīng)濟而且高效率的露點在線測量的解決方案,*低露點溫度可測達-120℃(相當(dāng)于<1ppb).Pura 變送器匯集了密析爾生產(chǎn)和校驗阻抗露點變送器方面的經(jīng)驗和專業(yè)知識,并結(jié)合了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)選材和制造工藝,使之成為**款適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造工廠及高純凈氣體行業(yè)中的**位變送器
系列用途
在線檢測半導(dǎo)體工業(yè)高純氣的濕度
產(chǎn)品特點
安裝簡便
高度的穩(wěn)定性和重復(fù)性
測量范圍達-120℃露點(<1ppbV)
100級潔凈室凈化包裝
技術(shù)參數(shù)
測量范圍: -120…40℃露點
精 度: ±1℃露點
工作壓力: 30Mpa
工作溫度: -20…+50℃
氣室材料: 冷拉不銹鋼,內(nèi)部0.1…0.2微米電拋光
防護等級: IP65
氣路接口: 1/4 ’’VCR
流量等級: 建議位1…5NL/Min
工作電源: 12…28VDC
輸出信號: 4…20 mA (RS485可選)
溯源性: NPL(英國)和NIST(美國)
質(zhì)量保證期: 12個月