SiH4硅烷檢測儀 檢測原理：電化學 測量范圍： 0-1ppm、10、20、50、100ppm 分辨率  ：0.001ppm、0.01ppm 精　　度：2% 顯示方式：液晶顯示 響應時間：≤30秒 恢復時間：≤60秒 信號輸出：2、3線制4～20mA、0-5V、485接口可選； 信號輸出可定制 *大傳輸距離：1100米（2.5平方毫米銅芯電纜） 工作溫度：-20℃～+50℃ 相對濕度：10%～95%RH 電　　源：24VDC±12VDC 防護等級：IP65  重    量：約1.5Kg