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&nbsp;&nbsp; <p><strong>陶瓷電容式薄膜真空計(jì)與電阻計(jì)熱偶計(jì)有什么不同</strong></p> <p>&nbsp;</p> <p>薄膜真空計(jì)是迄今為止得到公認(rèn)的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器，<br />也是我國具有法定計(jì)量校準(zhǔn)檢定規(guī)程的一種真空度計(jì)量器具（校準(zhǔn)參照規(guī)程：Q/WHJ46-1998標(biāo)準(zhǔn)型電容薄膜真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)程）<br /><br />電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓、全壓測量的真空計(jì)，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化，即產(chǎn)生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號(hào)，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無關(guān)，即：薄膜真空計(jì)是一種直接測量式的、全壓型的真空計(jì)。<br /><br />而我們常用的真空計(jì)往往是電阻計(jì)、熱偶計(jì)等等間接測量的熱傳導(dǎo)型的真空測量方法，簡單一點(diǎn)來說，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強(qiáng)（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法。由于測量原理上的先天不足，這類真空計(jì)的測量精度、測量穩(wěn)定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計(jì)大1~2個(gè)以上數(shù)量級(jí)（誤差大于30，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)是±50？），尤其是在低真空段，誤差更大。使用過電阻計(jì)、熱偶計(jì)的度知道，測量前還需要零點(diǎn)、滿度校正一下，不然誤差還會(huì)更大。另外，不同成分的氣體其熱傳導(dǎo)系數(shù)是不一樣的，這種工況時(shí)，電阻計(jì)、熱偶計(jì)測量值會(huì)增加變化±20-50。</p> <p>所以，要使用熱偶計(jì)、電阻計(jì)準(zhǔn)確測量真空度是很難的。</p> <p><br />不過，它確實(shí)也有它的優(yōu)點(diǎn)的：制造容易、價(jià)格低廉，還普遍使用著。用過的都領(lǐng)教過它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買到進(jìn)口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因?yàn)槔贤獾倪@個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測量機(jī)理的真空傳感器。所以選擇真空計(jì)、真空傳感器、首先要看測量技術(shù)的先進(jìn)性，而不是只看是不是進(jìn)口的、數(shù)字、智能，等等；測量機(jī)理陳舊，再怎么數(shù)字、怎么智能，也于事無補(bǔ)的。<br /><br />現(xiàn)代真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，涉及的應(yīng)用范圍越來越廣泛、真空應(yīng)用設(shè)備對(duì)儀器儀表的要求越來越高，特別是對(duì)測量精度、穩(wěn)定性要求、以及自動(dòng)控制性能要求也越來越高，這直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果，甚至于成功與否。在精細(xì)化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出。<br />許多新設(shè)備、新工藝、新產(chǎn)品的開發(fā)之所以老是無法實(shí)現(xiàn)預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)和效果，往往就是因?yàn)檎婵諟y控儀表選型不當(dāng)、其實(shí)際的測量控制精度無法達(dá)到設(shè)計(jì)要求所造成的。<br />當(dāng)然，薄膜真空計(jì)也不是沒有缺點(diǎn)的，首先是價(jià)格高；進(jìn)口則1.6—2.5萬元/只；其次，國內(nèi)老式的薄膜規(guī)容易零漂，需要經(jīng)常校正，要求高的經(jīng)常校正。主要是技術(shù)陳舊，國內(nèi)材料科學(xué)相對(duì)落后造成的，溫度穩(wěn)定性不好；還有一個(gè)量程跨度小，國內(nèi)的不超過3個(gè)數(shù)量級(jí)。第三是國產(chǎn)規(guī)嬌氣，容易壞，有油污進(jìn)去很難清洗，要用丙酮，清洗挽救1\3往往會(huì)報(bào)廢，小量程的2\3會(huì)壞。</p> <p><br />所以，我們需要有一種具有國產(chǎn)價(jià)格、進(jìn)口品質(zhì)的、使用方便、經(jīng)久耐用薄膜真空計(jì)。緊跟國際先進(jìn)的真空測量新技術(shù)，我們應(yīng)該能夠做得到的。</p> <p><br />國外的薄膜真空計(jì)的核心技術(shù)一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術(shù)、二是半導(dǎo)體厚膜電路和智能儀表技術(shù)。首先是通過大規(guī)模厚膜電路（國內(nèi)有些廠家還是20年前的007運(yùn)放），將薄膜電容測量機(jī)構(gòu)和傳感器調(diào)理電路微型化，做在陶瓷基片上，另外，將智能儀表電路微型化，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬、精度高、體積小；（其典型代表如MKS-626\627、英福康TCBG等等）。</p>