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&nbsp;&nbsp; <p><strong>陶瓷電容式薄膜真空計與電阻計熱偶計有什么不同</strong></p> <p>&nbsp;</p> <p>薄膜真空計是迄今為止得到公認的可作為低真空測量（0.01--100Pa）工作副標準的一種真空儀器，<br />也是我國具有法定計量校準檢定規程的一種真空度計量器具（校準參照規程：Q/WHJ46-1998標準型電容薄膜真空計校準規程）<br /><br />電容薄膜真空計是一種絕壓、全壓測量的真空計，原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產生膜片間距離的變化，即產生了電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號，所以，它的測量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關，與氣體成分無關，即：薄膜真空計是一種直接測量式的、全壓型的真空計。<br /><br />而我們常用的真空計往往是電阻計、熱偶計等等間接測量的熱傳導型的真空測量方法，簡單一點來說，就是通過測量感受氣體溫度的方法來間接測量氣體壓強（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測量方法。由于測量原理上的先天不足，這類真空計的測量精度、測量穩定度是很不好的。其測量誤差一般比薄膜真空計大1~2個以上數量級（誤差大于30，行業標準是±50？），尤其是在低真空段，誤差更大。使用過電阻計、熱偶計的度知道，測量前還需要零點、滿度校正一下，不然誤差還會更大。另外，不同成分的氣體其熱傳導系數是不一樣的，這種工況時，電阻計、熱偶計測量值會增加變化±20-50。</p> <p>所以，要使用熱偶計、電阻計準確測量真空度是很難的。</p> <p><br />不過，它確實也有它的優點的：制造容易、價格低廉，還普遍使用著。用過的都領教過它的煩心。許多人抱怨花了3、4千元買到進口的真空傳感器也誤差大、毛病多?就是因為老外的這個價位的產品還是老的熱傳導測量機理的真空傳感器。所以選擇真空計、真空傳感器、首先要看測量技術的先進性，而不是只看是不是進口的、數字、智能，等等；測量機理陳舊，再怎么數字、怎么智能，也于事無補的。<br /><br />現代真空應用技術的發展，涉及的應用范圍越來越廣泛、真空應用設備對儀器儀表的要求越來越高，特別是對測量精度、穩定性要求、以及自動控制性能要求也越來越高，這直接關系到真空設備的整體性能質量，關系到真空應用技術或應用工藝的應用效果，甚至于成功與否。在精細化工、真空冶煉、真空單晶爐、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導體材料生產、高特新材料、新能源設備等等行業中尤其特出。<br />許多新設備、新工藝、新產品的開發之所以老是無法實現預想的技術指標和效果，往往就是因為真空測控儀表選型不當、其實際的測量控制精度無法達到設計要求所造成的。<br />當然，薄膜真空計也不是沒有缺點的，首先是價格高；進口則1.6—2.5萬元/只；其次，國內老式的薄膜規容易零漂，需要經常校正，要求高的經常校正。主要是技術陳舊，國內材料科學相對落后造成的，溫度穩定性不好；還有一個量程跨度小，國內的不超過3個數量級。第三是國產規嬌氣，容易壞，有油污進去很難清洗，要用丙酮，清洗挽救1\3往往會報廢，小量程的2\3會壞。</p> <p><br />所以，我們需要有一種具有國產價格、進口品質的、使用方便、經久耐用薄膜真空計。緊跟國際先進的真空測量新技術，我們應該能夠做得到的。</p> <p><br />國外的薄膜真空計的核心技術一是陶瓷薄膜真空壓力測量技術、二是半導體厚膜電路和智能儀表技術。首先是通過大規模厚膜電路（國內有些廠家還是20年前的007運放），將薄膜電容測量機構和傳感器調理電路微型化，做在陶瓷基片上，另外，將智能儀表電路微型化，一次儀表和二次儀表合二為一，所以量程寬、精度高、體積小；（其典型代表如MKS-626\627、英福康TCBG等等）。</p>