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　　為使色譜分離柱溝槽深度增加，采用硅濕法腐蝕的工藝手段，先將硅基底一面鍵合上Pyrex玻璃層，然后將硅基底在厚度上腐蝕穿，達到分離柱溝槽深度的極大值，然后再在硅基底背面同樣鍵合Pyrex玻璃層進行密封。該分離柱內表面經過鍵合相化學處理，雖然應用在液相色譜中，但其玻璃層－硅基底－玻璃層的三明治結構為制作高深寬比的分離柱提供了一種廉價、簡易的方案。蛇型結構蛇型色譜分離柱結構由一段較長的直線段部分和一段180°的轉角部分交替重復組成。

　　比較了蛇型結構、圓形螺旋型結構和正方螺旋型結構三種色譜分離柱在相同條件下的分離性能，得出的結論是：不論是在恒溫分離過程中還是程序溫度控制分離過程中，蛇型分離柱具有更小的色譜分離峰線寬、更尖銳的譜峰、更高的理論熱塔板數、分辨率高。因此，蛇型結構成為今后制作MEMS微型色譜柱的首要選擇。通過硅硅鍵合制作色譜分離柱的思路，制作了圓形截面的蛇型結構分離柱，其同樣在兩片相同的硅基底上通過各向同性濕法腐蝕工藝制作半圓形截面的蛇型溝槽，然后在200℃的條件下，經過對準標記對準，以二－苯并環丁烯作為中間層進行硅片的粘結鍵合密封形成分離柱。該分離柱結合后端探測器，應用在危險化學品（TNT，GB，VX）的微量分析領域。